и так, поскольку RH4 - делаем вывод что степень окисления эелемента равна 4, следовательно оксид будет иметь вид RO2. используя формулу w(Э) = (Ar (Э) * n )/ Mr (вещ-ва), найдем Mr (вещ-ва) = (Ar (Э) * n ) / w (Э) = 16 * 2 / 0,533 = 60 г/моль, 60 - 32 (кислород) = 28 (молярка кремния) - а значит элемент - Кремний Si
SiH4 + 2O2 = SiO2 + 2H2O