В Сіліцію з Гідрогеном може бути декілька летких сполук. Більше того Сіліцій з Гідрогеном утворює ряд сполук із загальною назвою силани (по аналогії з алканами). Але в більшості випадків під такою леткою сполукою розуміють моносилан або як його просто називают силан - SiH4.