Микросхема - микроминиатюрное электронное устройство, все или часть элементов которого нераздельно связаны конструктивно и соединены между собой электрически. Различают 2 основных типа микросхем : полупроводниковые и плёночные.
Полупроводниковые микросхемы изготавливают из особо чистых полупроводниковых материалов (обычно кремний, германий) , в которых перестраивают саму решётку кристаллов так, что отдельные области кристалла становятся элементами сложной схемы. Маленькая пластинка из кристаллического материала размерами ~1 мм2 превращается в сложнейший электронный прибор, эквивалентный радиотехническому блоку из 50-100 и более обычных деталей. Он способен усиливать или генерировать сигналы и выполнять многие другие радиотехнические функции.
Полупроводниковые микросхемы развиваются в направлении всё большей концентрации элементов в одном и том же объёме полупроводникового кристалла, т. е. в направлении повышения степени интеграциимикросхемы Разработаны микросхемы, содержащие в одном кристалле сотни и тысячи элементов. В этом случае микросхемы превращается в большую интегральную систему (БИС) , которую невозможно разрабатывать и изготовлять без использования электронных вычислительных машин высокой производительности.
Плёночные микросхемы создаются путём осаждения при низком давлении (порядка 1?10-5 мм рт. ст. ) различных материалов в виде тонких (толщиною < 1 мкм) или толстых (толщиной > 1 мкм) плёнок на нагретую до определённой температуры полированную подложку (обычно из керамики) . В качестве материалов применяют алюминий, золото, титан, нихром, окись тантала, моноокись кремния, титанат бария, окись олова и др. Для получения микросхемы с определёнными функциями создаются тонкоплёночные многослойные структуры осаждением на подложку через различные маски (трафареты) материалов с необходимыми свойствами. В таких структурах один из слоев содержит микрорезисторы, другой - микроконденсаторы, несколько следующих - соединительные проводники тока и другие элементы. Все элементы в слоях имеют между собой связи, характерные для конкретных радиотехнических устройств