На мой взгляд, причиной этого могли быть псилофиты - первые наземные растения. Они дали достаточное количество кислорода, стали наращивать свою биомассу и являлись местом обитания для беспозвоночных. Те, в свою очередь, могли быть едой для первых наземных животных. Случались отливы, рыбы, которые оставались в небольших лужицах, возможно приспособились и их плавники стали более мощными, что позволило им передвигаться на небольшие расстояние по суше. А их лёгкие приспособились к атмосферному воздуху.