Установите последовательность, отражающую этапы эволюции протобионтов. Запишите соответствующую последовательность цифр. 1) анаэробные гетеротрофы 2) аэробы 3) многоклеточные организмы 4) одноклеточные эукариоты 5) фототрофы 6) хемотрофы