Перед ответом укажу, что тоталитарный режим был и до 20 века, но причины укажу такие-же, какие были в 20 веке, чтобы было понятней.
Тоталитаризм возник в странах, которые отставали в проведении модернизации.
В этих странах (германия, италия, ссср) проводилась неорганическая (догоняющая) модернизация, отличительная особенность которой в том, что она проводится по инициативе государства и под его контролем.
Для осуществления контроля и мобилизации всех сил общества на решение задач модернизации и используются инструменты тоталитарного политического режима: карательные и репрессивные органы, запрет на деятельность профсоюзов, политических партий, ограничение влияния церкви и интеллигенции.
Вообще главная причина Тоталитарного режима - сама власть. Сыграла роль и высокая эффективность Тоталитарного режима, на фоне низкой у других режимов.
Обычно главная причина Тоталитарного режима - убеждение власти в том, что она будет наиболее эффективной, если же вообще не расценивается как "единственно верный путь".
Стоит также указать, что есть множество причин, которые не были указаны.