Память - это устройство отвечающее за сохранение и последующий доступ к ней. В зависимости от типа она может состоять из дисков, микросхем, магнитных дорожек и т.д.
ОЗУ - сокращение от Оперативное Запоминающее Устройство, энергозависимая память служащая буфером, чем-то средним между ПЗУ и КЭШем. Полное определение ОЗУ: это память в которой храняться временные данные, которые нужны или скоро будут нужны процессору.
ПЗУ - Постоянное Запоминающее Устройство, устройство в котором долгое время может храниться информация. Примером может быть жесткий диск.
КЭШ - вид памяти в процессоре, которая делиться на 3 уровня по своему размеру и скоростью передачи/записи. В ней находяться уже нужная информация которая уже обрабатывается или вот-вот будет.