Первые два слова используются качестве вводных слов, однако в современном языке предпочтительнее говорить и писать «наверное». «Наверно» раньше, примерно в 19-м веке, было наречием и употреблялось в значении «точно», «несомненно».
«Примерно» — «приблизительно»
«Наверно(е)» — выражение сомнения, «может быть»