В таких предложениях оба выделенных слова пишутся раздельно:
ПО ЭТОМУ пути долго не ездили, ТАК ЖЕ, как и по той дороге, что ведёт в лес.
ЧТО БЫ ни утверждали критики, для Пушкина Онегин – личность страдающая, ТАК КАК этот герой способен на глубокие чувства.
__
Остальные:
ИТАК, невербальное общение – важный инструмент, но в ТО ЖЕ время им надо уметь правильно пользоваться.
ВСЛЕДСТВИЕ природного обаяния, а ТАКЖЕ блистательного юмора он сразу завоевал петербуржское общество.